簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "Wei-Nien Su".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="微影"


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    微米級積層製造系統大面積微結構曝光之研究
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生： 蘇柏向   指導教授： 鄭正元
    • 本論文的研究方向是將無光罩微影技術結合積層製造之光成型加工技術，選用下照式成型系統，設計出能製作大面積微結構的曝光機。相較以往的顯微鏡微影系統，本系統單次曝光面積大，能製作出的微結構數量更多，配合高…
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